“这些p技术也要交给我们俩弄吗”
今天得到信息量🐅♂🅤太大了。两个年轻人很有种目不暇接的感🅊觉。👲🌶🃩
多重图案技术,一听就明白,也就敢照亮照亮。但🍺🍋是p技术,涉及的就是就是真刀真🉥枪了。
机械🖱🖖研磨,研磨液怎么办🚴,🐈♟研磨速度,机加工精度,这里面就没有一个是简单的。
他们两个与成永兴多少♳面临同样的问题,那就是毕竟学习时间太短,基🄌础知识不牢靠。
“这几个技术,我会交给🚴其🐈♟他人进行研发。”
这个p技术,也很重要,但它就没有保密的必要⚏🐙⛸了。因为它本身就是一个公开的技术。🜠🃤现在就是比,谁先采用了。早采用,早受益。它完全可以光明正大的搞起来。
这也是🍏为什么这个技术,被叫做真1微米的原🙎🉑因。
p技术摆在前台做🖍👕幌子,🚴多重图案技术藏在后面。
“是要交給赵主任他们吗”
“我会另外安排。你们就不用管了。”
这确实是个令人头疼的问题。
工大在集成电路工艺上♳面,这两年也做出了些成果,但🛔毕竟底蕴不⛂足。
另外,术业有专攻。只靠一个专业的十几个人,去包打天下,根本就不现实📦🝅🈭。
赵主🖱🖖任领着一群弟子,已经🐈♟在集成电路设🔙🀿计方面,狂奔了起来。那么就让他们继续走下去吧。
这些技术,很多都是系统性的。它甚♵🌳至不是靠一两台设备,一两个⛂设🇸备厂家能搞定的。
引入第三方力量,就是必须。
不过🖱🖖这个事情不急。幌子🚴的作用,主♵🌳要还是幌子。
“我们现在干什么”
“第一🍏步还是先来验证概念,另外要试验一下,看ee和sap这两条路,哪一条🞍更容易实现,难度最🙔低。”
多重图🍏案🉥技术法,有两条实现路线。一条是ee⚏🐙⛸,另一条是sap
ee是🍏将设计版图分解成两套独立的低密度图形,通过🛔两次单独曝光和两次单独刻蚀,然后叠加在一🃣起,形成更精细的图案。
sap是通过一次光刻形成核心图形,然后通过沉积deposition在核心图案两🀡♹侧形成侧墙sidewa,最后通过刻蚀和修剪曝光来实现所要的图形。
“这两条路🗻,是你提出来的,你自己不知道”🙎🉑